GSEM 시험분석센터 EDS 분석 안내

EDS 분석, 이런 게 궁금할 때 찾아주세요.

※ 장비 사양 및 성능 관련 내용 출처: Oxford Instruments, 「Xplore with X1」 Technical Data Sheet (2025)

01."이 이물질, 대체 무슨 성분일까?"

점 · 선 · 영역 성분 분석 (Point / Line / Area)

보고 싶은 위치를 SEM 이미지에서 직접 찍어 그 부분의 성분을 확인합니다.

한 번에 여러 지점을 분석할 수 있어 정상 부위와 불량 부위를 나란히 비교하기 좋고,

선을 따라 분석하면 층과 층 사이에서 성분이 어떻게 바뀌는지도 확인할 수 있습니다.

이런 걸 알 수 있어요

       ●    특정 위치에 들어 있는 원소의 종류

       ●    원소별 함량(wt%, at%)

       ●    정상부·불량부 성분 비교

       ●    계면을 가로지르는 성분 변화(Line)

02."이 원소는 어디에 몰려 있을까?"

원소 분포 맵핑 분석 (Mapping)

분석 영역 전체를 훑어 원소마다 다른 색을 입혀 지도처럼 보여드립니다.

눈으로는 똑같아 보이는 영역도 성분 차이에 따라 뚜렷하게 구분되어,

편석·오염·확산이 어디서 일어났는지 한눈에 확인할 수 있습니다.

이런 걸 알 수 있어요

       ●    원소별 분포 위치

       ●    특정 원소가 뭉치거나(편석) 퍼진(확산) 영역

       ●    도금·코팅 등 층별 성분 구성

이렇게 보여드려요

03. "탄소·질소·산소 같은 가벼운 원소도 보일까?"

경원소 분석 (Light Element)

가벼운 원소는 내보내는 X선 신호가 약해 일반적인 EDS로는 잘 잡히지 않습니다.

Xplore는 신호를 잘 통과시키는 초박막 창(SATW)을 써서 베릴륨(Be)·붕소(B)·탄소(C)·질소(N)·산소(O) 같은 가벼운 원소도 확인할 수 있습니다.

이런 걸 알 수 있어요

       ●    유기물 오염, 탄소 성분 이물 확인

       ●    표면 산화막 · 질화막 형성 여부

       ●    붕소 · 탄소가 들어간 소재의 성분 분포

★ 이런분들이 많이의뢰하세요.

★ 함께 받으면 더 정확합니다.